山東有研刻蝕設備用硅材料項目通線量產

　　10月16日，山東有研刻蝕設備用硅材料項目通線量產，這是全省首條集成電路刻蝕設備用硅材料生產線。

　　據悉，山東有研刻蝕設備用硅材料項目總投資3.57億元，主要生產大尺寸單晶硅部件加工品，全部達產后年新增硅材料204噸。“刻蝕設備用硅材料部件是晶圓制造刻蝕環節所需的核心耗材，主要用于生產8至12英寸的等離子刻蝕機。”山東有研艾斯半導體材料有限公司總經理閆志瑞介紹，此前中國有研科技集團有限公司（以下簡稱有研集團）一直生產刻蝕設備用硅部件半成品，在德州建立生產基地后，開始布局全產業鏈成品制作。

　　作為“有研系”在德州布局的重點延鏈補鏈項目之一，山東有研刻蝕設備用硅材料項目對于完善山東省集成電路產業格局、填補省內該領域空白意義重大，并將有力改變國內刻蝕設備用硅材料依賴進口的局面。“硅片生產處于集成電路產業的上游環節，附加值最大的在芯片制造中端環節。刻蝕用單晶硅材料屬于半導體單晶硅材料生產領域的另一主線，我們就這一主線作延展。現在，我們不僅能制造加工刻蝕用單晶硅材料，還能生產相關成品部件，全產業鏈布局可以直面終端刻蝕機廠商，提升了市場附加值，在細分領域賽道中增加了競爭力。”閆志瑞說。

　　眼下，有研集團已在德州投資近百億元，共布局7個產業鏈項目，集聚打造了占地1000畝的集成電路關鍵材料基地。